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铝蚀刻工艺中深度不够的原因是什么？排除方法是什么？

作者：编辑：来源：发布日期： 2019.04.30

信息摘要：

铝蚀刻深度不够产生的原因是什么？排除方法是什么？

铝蚀刻深度不够产生的原因是什么？排除方法是什么？
一：产生的原因：
1、蚀刻液温度太低
2、蚀刻时间太短
3、蚀刻溶液老化，浓度低

二：排除方法：

1、加温蚀刻液至工艺规定范圈
2、适当延长蚀刻时间
3、弃掉部分旧蚀刻液添加新的蚀刻液，或通过分析调整

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