掩膜片(Photomak)是半导体制造和显示面板生产中的关键元件,主要由高纯度石英或玻璃基板镀铬制成,表面刻有精密电路图案。
产品介绍 |
|
产品名称: |
|
产品简介: |
掩膜片(Photomask)是微电子制造和精密加工中的关键元件,主要用于光刻工艺中传递图形到硅片或其他基材上。它由高纯度的石英或玻璃基板制成,表面镀有铬等金属薄膜,并通过精密曝光和蚀刻技术形成特定电路或微纳结构图案。在半导体、显示面板、PCB等领域,掩膜片作为“模板”,直接决定最终产品的精度和性能。随着制程技术向更小节点发展(如7nm、5nm),掩膜片的复杂度和精度要求日益提升,成为高端制造的核心耗材之一。 |
产品用途: |
掩膜片 主要应用于半导体制造、显示面板(如LCD/OLED)、印刷电路板( PCB)、微机电系统(MEMS )及精密光学元件等行业,是光刻工艺中的核心图形转移载体。 |
工艺流程: |
需要焊接的工件对位预固定-进炉-加压-抽真空-升温-保压-降温-出炉-检验-复合要求出货 |
我们的优势 |
|
1、截止2025年我们在蚀刻领域从业20余年,2015年公司又斥资在南通新建产业园,借鉴深圳和昆山分公司的成功经验,致力于中高端市场 掩膜片 产品的技术创新、研发、生产 和销售。 立志成为蚀刻行业的百年企业! |
|
2、卓力达掩膜片采用激光直写和电子束光刻技术,确保微米级甚至纳米级图形的高精度复现。我们严格把控线宽均匀性和边缘清晰度,使产品适用于半导体、高分辨率显示面板等对精度要求极高的领域。凭借自主优化的光学校正技术,我们能够有效减少光学邻近效应,确保图形转移的准确性,助力客户提升产品良率。 |
|
3、我们精选高纯度石英和特种金属镀层,确保掩膜片在高温、高湿及强光照射环境下仍保持尺寸稳定性和耐久性。卓力达的镀铬工艺使膜层附着力更强,抗氧化性能优异,大幅延长掩膜片的使用寿命,减少客户因频繁更换带来的成本损耗。 |
|
4、卓力达拥有成熟的掩膜片设计团队,可根据客户需求提供个性化的解决方案,包括特殊图形设计、相位调整(PSM)、OPC(光学邻近校正)等。无论是小批量试产还是大规模量产,我们都能快速响应,满足不同行业客户的差异化需求。 |
|
5、从基材筛选到最终出货,卓力达执行全流程质量管控,确保每一片掩膜片均符合行业高标准。我们采用高精度检测设备(如AOI、CD-SEM)对图形完整性、线宽精度及缺陷率进行严格筛查,确保产品零瑕疵交付,帮助客户减少生产风险。 |
在掩膜片 制造领域,卓力达掩膜片采用高精度激光直写和电子束光刻技术,能够复现复杂微纳图形,确保光刻过程中的图案转移准确无误。我们独有的光学补偿算法可优化图形边缘清晰度,减少失真,特别适用于半导体制程和高分辨率显示面板制造,帮助客户实现更精细的线路刻画。
卓力达的 掩膜片选用优异石英基材和特种金属镀层,确保掩膜片在高温、强光及化学环境下仍保持优异性能。卓力达的镀膜工艺增强了抗磨损和抗氧化能力,大幅延长使用寿命,减少客户因掩膜片老化带来的生产波动,保障长期稳定的良率表现。
03 卓力达具备发展性的掩膜片定制开发能力,可满足不同行业客户的特殊需求。无论是相移掩膜(PSM)、光学邻近校正(OPC),还是特殊图形优化,我们都能提供完善的解决方案,助力客户突破技术瓶颈,实现更高速的生产。