近日，国产中微传来喜讯，旗下5nm等离子体蚀刻机通过了台积电的验证，未来台积电生产5nm制成将会用到由中微提供的蚀刻机，该蚀刻机由国产中微完全自主研发，可喜可贺。

蚀刻车间全景