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不锈钢蚀刻工艺规范

作者: 编辑: 来源: 发布日期: 2019.01.14
信息摘要:
本规范适用于不锈钢工件需要进行非结构的图文、单台阶及多台阶化学蚀刻的加工生产,但不适用于宇航基本产品的生产加工。

                                                                                      不锈钢蚀刻工艺规范

(1)不锈钢蚀刻工艺过程:预处理、防蚀层制作一装挂-活化-蚀刻-流动水洗-光化处理-流动水洗-检查-清理防蚀层-干燥-下挂-检查-转下工序(或包装人库)。

(2)主要工序要求如下所述。

①预处理:按不锈钢预处理工艺规范进行。

②防蚀层制作:刻划法按刻划法工艺规范进行;感光法按感光法工艺规范进行;丝印法按丝印工艺规范进行;激光光刻法按激光光刻工艺规范进行。

③装挂:根据蚀刻方法的不同选择合适的装挂方式。装挂时应牢固,保证工件不相互贴合、碰撞。装挂位置适当,尽量避免在化学处理时产生气囊,保证蚀刻的均匀性。如是采用传 输式蚀刻设备进行蚀刻则不需要装挂,但要采用合适的工装,防止在喷射时使工件移位而影响蚀刻的进行。

④活化按表4一9进行。

4-9

⑤蚀刻:图文蚀刻和喷淋式蚀刻按表4一10进行,浸泡蚀刻按表4一11进行。

4-10

4-11


      对于垂直蚀刻的工件要定时将上下位置对换,在蚀刻过程中要注意检查蚀刻深度的变化, 在蚀刻到深度的80%左右时,应取出工件测量深度,然后再确定余下的蚀刻时间。对于深度不高的台阶及图文蚀刻、可根据预先工艺试验确定的时间进行。 对多台阶蚀刻要分次进行,对于深度不大的图形多台阶蚀刻防蚀层制作推荐采用激光光刻法。防蚀层制作采用多次蚀刻、多次光刻的方法进行。

⑥光化处理按表4一12进行。

4-12


⑦检查:这一步主要是检查蚀刻深度、蚀刻表面的效果是否符合工艺要求,并同时检查防 蚀层有无异常。

⑧退除防蚀层:丝印、感光或激光光刻法制作的防蚀层可采用有机溶剂,以及5%一10% 的氢氧化钠溶液进行清理;刻划法制作的防蚀层可直接剥除,对于厚度不大的工件在剥除过程 中应注意防止工件变形。

⑨干燥:在60℃一80℃的干燥箱(室)内干燥。

⑩卸挂:卸挂时应戴干净的细纱手套,在以后各工序,操作人员都应戴干净的细纱手套。 

(3)溶液配制与调整如下所述。

①溶液的配制方法:略。

②溶液成分的分析项目及分析周期见表4一13.

4-13

(4)常见故障的产生原因及排除方法见表4-14



4-14


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